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EFEM设备

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产品说明
拥有多款 Line-up EFEM可搭载 1Port ~ 6Port LPM可根据客户需求量身定制可使用 FFU 差压联动 Mode符合 SEMI Standard EFEM是半导体制造工艺中Wafer处理设备的前端模块，负责Wafer的移动、上/下料、排序等工作，协助半导体制造工艺间的Wafer处理实现高效与稳定。
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