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半导体机器人

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产品说明
Wafer handling, loading/unloading精确的位置控制高信赖性高精度CC-link, RS-232通讯可应对多种尺寸的晶圆（2 " ~ 12 ") 本产品是在半导体制造工序内用于Wafer移送及装载的Transfer Robot，主要特征为精准的位置控制、高信赖性/高精密性等。
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