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用于研磨SiC表面的钻石轮M-cloud

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结合锐度和耐磨性的超多孔车轮用于晶圆表面研磨的金属键轮,如SiC和GaN。超孔结构实现细粒磨,不能与常规金属粘合轮毂应用,与相同粒径的玻璃化粘结轮相比具有优异的锐度和耐磨性。
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